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Colorless, odorless, tasteless gas 无色、无嗅、无味气体
Formula（分子式）:O2
Molecular weight(分子量):32
Boiling point(沸点):-183℃
Melting point(融点):-218℃
Vapor Pressure(蒸汽压):不适用
Specific Volume(比容):12.08 ft3/lb(0.7540 m3/kg)在70 ℉(21℃)
UN Number(UN号码):UN 1072
DOT Classification(DOT类别):2.2 (不燃烧气体)
DOT Label(DOT标签):不可燃气体
Cylinder Connection(钢瓶接口):CGA540
Grsde(级别):5N
Purity(纯度):99.999%
| Impurity(非组分) |
Specification(标准) |
| Argon 氩气 |
<3.0 ppmv |
| Nitrogen 氮气 |
<5.0 ppmv |
| Carbon Monoxide 一氧化碳 |
<0.5 ppmv |
| Carbon Dioxide 二氧化碳 |
<0.5 ppmv |
| Total Hydrocarbon 碳氢化合物 |
<0.2 ppmv |
| Moisture 水 |
<0.5 ppmv |
| Krypton 氪气 |
<2.0 ppmv |
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| 工业氧（GB/T3863-2008) |
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| 项目名称 |
指标 |
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| 氧（O2)含量（体积分数）/10-2 ≥ |
99.5 |
99.2 |
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| 水（H2O) |
无游离水 |
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| 纯氧、高纯氧、超纯氧（GB/T14599-2008) |
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| 项目名称 |
指标 |
| 超纯氧 |
高纯氧 |
纯氧 |
| 氧气（O2)的体积分数/10-2 ≥ |
99.9999 |
99.999 |
99.995 |
| 氢气（H2)的体积分数/10-6 ≤ |
0.1 |
0.5 |
1 |
| 氩（Ar）的体积分数/10-6 ≤ |
0.2 |
2 |
10 |
| 氮（N2)的体积分数/10-6 ≤ |
0.1 |
5 |
20 |
| 总烃含量（以甲烷计）/10-6 ≤ |
0.1 |
0.5 |
2 |
| 二氧化碳含量/10-6 ≤ |
0.1 |
0.5 |
1 |
| 水分/10-6 ≤ |
0.5 |
2 |
3 |
| 注：表中纯度和含量均以体积分数表示（V/V)。 |
应用：氧气一般用作集成电路芯片封装工艺中的等离子气源 / 炉室清洗
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