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1、高纯液氧

纯度	杂质含量	Ar	N2	CH4	CO2
≥99.999%	PPM	5	10	2	1

2、高纯液氩

纯度	杂质含量	N2	H2	O2	CO2	CH4	H20
≥99.999%	PPM	4	1	1	1	1	2.6

3、纯液氩

纯度	杂质含量	N	O2	H2	总碳
≥99.995%	PPM	100	15	5	10

4、纯液氮

项目	纯度	杂质含量	O2
高纯液氮	≥99.995%	PPM	5
纯液氮	≥99.995%	%	0.01

5、液体二氧化碳

项目	纯度
液体二氧化碳	≥99.995%


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