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超纯氮
   日期：2012-05-22  

 

 

气体名称 规格 主要用途
气体纯度% 气体装量 钢瓶体积/L 阀门型号
超纯氮 N6.0 13MPa 40 G5/8

　    在电子工业中高纯氮气是半导体集成电路生产工艺不可缺少的保护气、载气。

N6.0 13MPa 40 CGA580
N6.0 13MPa 40 CGA540 　

 

 

 

纯氮、高纯氮、超纯氮（GB/T8979-2008)
项目名称 指标
超纯氮 高纯氮 纯氮
氮气（N2)的体积分数/10-2                  ≥ 99.9999 99.999 99.99
氧气（O2)的体积分数/10-6              ≤ 0.1 3 50
氩（Ar）的体积分数/10-6               ≤ 2 — —
 氢气（H2)的体积分数/10-6             ≤ 0.1 1 15
 一氧化碳（CO)的体积分数/10-6            ≤ 0.1 1 5
二氧化碳（CO2)的体积分数/10-6         ≤ 0.1 1 10
甲烷（CH4)的体积分数/10-6             ≤ 0.1 1 5
水分/10-6                            ≤ 0.5 3 15
注：表中纯度和含量均以体积分数表示（V/V)。

 

 

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