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超纯氦

日期：2012-05-29

气体名称	规格				主要用途
气体名称	气体纯度%	气体装量	钢瓶体积/L	阀门型号	主要用途
超纯氦	N6.0	13MPa	40	CGA580	在半导体制造中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。
超纯氦	N6.0	13MPa	47	CGA580	在半导体制造中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。

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