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氨
日期：2012-06-02 |
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NH3 氨气
A colorless,toxic,flammable,corrosive,liquefied gas.（一种无色，有毒，可燃，具腐蚀性的可液化气体）
Formula（分子式）：NH3
Molecular weight(分子量):17.03
Boiling point(沸点) :-33.4℃,28.1°F;
Melting point(融点):-77.7℃,-107.9°F.
Vapor Pressure(蒸汽压)：888Kpa(21.1℃);129Psia(70°F)
Specific Volume(比容)：1.41m3/kg(21.1℃,101.325KPa)
22.6ft3/lb(70°F,14.696psia)
Lower Flammable Limit(最低可燃性含量)：6％
Upper Flammable Limit(最高可燃性含量)：25％
Threshold Limit ＆#118alue（人体的最高容许浓度）:25ppm
UN Number(UN号码)：UN1005
DOT Classification(DOT类别):2.2(Nonflammable Gas)
DOT Lable(DOT标签):FLAMMABLE GAS(可燃性气体) |
| 产品纯度及杂质含量 |
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| 氨 |
≥99.9995% |
≥99.99995% |
≥99.99999% |
| Oxygen(+Argon)氧(+氩) |
≤0.5 ppm |
≤0.05 ppm |
≤5 ppb |
| Nitrogen(氮) |
≤1.0 ppm |
≤1.0 ppm |
≤10 ppb |
| Carbon Monoxide(一氧化碳) |
≤0.5 ppm |
≤0.05 ppm |
≤10 ppb |
| Carbon Dioxide(二氧化碳) |
≤0.5 ppm |
≤1.0 ppm |
≤10 ppb |
| Hydrogen(氢) |
≤0.5 ppm |
≤0.05 ppm |
≤10 ppb |
| Water(水) |
≤1.0 ppm |
≤1.0 ppm |
≤50 ppb |
| THC(总碳氢) |
≤1.0 ppm |
≤0.05 ppm |
≤5 ppb |
| 包装 |
容积 |
装量 |
连接接口 |
| 小钢瓶 |
40L/47L |
22kg |
CGA660，DISS720 |
| Y瓶 |
440L |
230kg |
DISS720 |
| T瓶 |
944L |
480kg |
DISS720 |
| ISO槽车 |
22.5Nm3 |
11ton |
2" Valve |
| 液体无水氨（GB536-88) |
| 项目名称 |
指标 |
| 优等品 |
一等品 |
合格品 |
| 氨含量，% ≥ |
99.9 |
99.8 |
99.6 |
| 残留物含量，% ≤ |
0.1(重量法) |
0.2 |
0.4 |
| 水分，% ≤ |
0.1 |
— |
— |
| 油含量,mg/kg ≤ |
5(重量法)
2（红外光谱法） |
— |
— |
| 铁含量，mg/kg ≤ |
1 |
— |
— |
| 电子工业用气体 氨（GB/T14601-2009) |
| 项目名称 |
电子级 |
光电子级 |
| 氨（NH3）纯度（体积分数）/10-2 ≥ |
99.9995 |
99.99994 |
| 氧（O2）含量（体积分数）/10-6 ＜ |
1 |
0.1 |
| 氮（N2）含量（体积分数）/10-6 ＜ |
1 |
— |
| 氢（H2）含量（体积分数）/10-6 ＜ |
— |
0.1 |
| 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 ＜ |
1 |
0.05 |
| 二氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 ＜ |
— |
0.1 |
| 烃（C1～C3）含量（体积分数）/10-6 ＜ |
1 |
0.05 |
| 水分（H2O）含量（体积分数）/10-6 ＜ |
3 |
0.2 |
| 总杂质含量（体积分数）/10-6 ≤ |
5 |
0.6 |
应用：晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜
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关键词：气体 〖返回〗 〖收藏〗 点击数：2053 |
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