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超纯氨

   日期:2012-06-05  

商品详细介绍    
 A colorless,toxic,flammable,corrosive,liquefied gas.(一种无色,有毒,可燃,具腐蚀性的可液化气体)
 Formula(分子式): NH3  
 Molecular weight(分子量): 17.03g/mol  
 Boiling point(沸点): -33.4℃ 28.1°F
 Melting point(熔点): -77.7℃ 107.9°F
 Vapor pressure(蒸汽压): 888KPa(21.1℃) 129Psia(70°F)
 Specific volume(比容): 1.41m3/kg(21.1℃,101.325KPa) 
22.6ft3/lb(70°F,14.696psia)
 Lower Flammable Limit(最低可燃性含量): 15%  
 Upper Flammable Limit(最高可燃性含量): 30%  
 Threshold Limit &#118alue(人体的最高容许浓度): 25ppm  
 DOT Classification(DOT类别): 2.2(Flammable Gas)(可燃性气体)
 DOT Lable(DOT标签): FLAMMABLE GAS(可燃性气体)

 

 

 7N超纯氨(Q/320507 LAS03-2011)
 项目名称  超纯氨
 氨(NH3)纯度(体积分数)/10-2          ≥  99.99999
 氢(H2)含量(体积分数)/10-6           <  0.01
 氧+氩(O2+Ar)含量(体积分数)/10-6     <  0.01
 氮(N2)含量(体积分数)/10-6               <  0.01
 一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6       <  0.01
 二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10-6      <  0.01
 烃(C1~C3)含量(体积分数)/10-6          <  0.01
 水分(H2O)含量(体积分数)/10-6           <  0.05
 总杂质含量(体积分数)/10-6                  ≤  0.1

 

 

 包装 容积 重量 连接阀门
 小钢瓶 40L 44L 47L 22Kg CGA660 DISS720
 Y瓶 440L 230Kg DISS720(手动)DISS720(气动)
 T瓶 930L 480Kg DISS720(手动)

 

 

应用:晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜

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关键词:气体     〖返回〗  〖收藏〗 点击数:2222     
   
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