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高纯氨
日期:2012-06-06 |
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| 商品详细介绍 |
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| A colorless,toxic,flammable,corrosive,liquefied gas.(一种无色,有毒,可燃,具腐蚀性的可液化气体) |
| Formula(分子式): |
NH3 |
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| Molecular weight(分子量): |
17.03g/mol |
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| Boiling point(沸点): |
-33.4℃ |
28.1°F |
| Melting point(熔点): |
-77.7℃ |
107.9°F |
| Vapor pressure(蒸汽压): |
888KPa(21.1℃) |
129Psia(70°F) |
| Specific volume(比容): |
1.41m3/kg(21.1℃,101.325KPa) |
| 22.6ft3/lb(70°F,14.696psia) |
| Lower Flammable Limit(最低可燃性含量): |
15% |
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| Upper Flammable Limit(最高可燃性含量): |
30% |
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| Threshold Limit &#118alue(人体的最高容许浓度): |
25ppm |
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| DOT Classification(DOT类别): |
2.2(Flammable Gas)(可燃性气体) |
| DOT Lable(DOT标签): |
FLAMMABLE GAS(可燃性气体) |
| 电子工业用气体 氨(GB/T14601-2009) |
| 项目名称 |
电子级 |
光电子级 |
| 氨(NH3)纯度(体积分数)/10-2 ≥ |
99.9995 |
99.99994 |
| 氧(O2)含量(体积分数)/10-6 < |
1 |
0.1 |
| 氮(N2)含量(体积分数)/10-6 < |
1 |
— |
| 氢(H2)含量(体积分数)/10-6 < |
— |
0.1 |
| 一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6 < |
1 |
0.05 |
| 二氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6 < |
— |
0.1 |
| 烃(C1~C3)含量(体积分数)/10-6 < |
1 |
0.05 |
| 水分(H2O)含量(体积分数)/10-6 < |
3 |
0.2 |
| 总杂质含量(体积分数)/10-6 ≤ |
5 |
0.6 |
| 包装 |
容积 |
重量 |
连接阀门 |
| 小钢瓶 |
40L 44L 47L |
22Kg |
CGA660 DISS720 |
| Y瓶 |
440L |
230Kg |
DISS720(手动)DISS720(气动) |
| T瓶 |
930L |
480Kg |
DISS720(手动) |
| 应用:晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜 |
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关键词:气体 〖返回〗 〖收藏〗 点击数:2469 |
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