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四氟化碳
日期：2012-06-07 |
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CF4四氟化碳
| 商品详细介绍 |
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| A colorless，nonflammable，high pressure gas.(一种无色不燃高压气体) |
| Formula(分子式)： |
CF4 |
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| Molecular weight(分子量): |
88 |
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| Boiling point(沸点): |
-78.2℃ |
-108.76°F |
| Melting point(熔点)： |
-100.7℃ |
-149.26°F |
| Vapor pressure(蒸汽压): |
13.8MPa（21.1℃） |
2000Psia(70°F) |
| Specific volume(比容): |
0.27m3/kg(21.1℃,101.325KPa） |
| 4.4ft3/lb(70°F,14.696psia) |
| UN Number（UN号码）: |
UN1982 |
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| DOT Classification(DOT类别): |
2.2(Nonflammable Gas)(不燃性气体) |
| DOT Lable(DOT标签): |
NON-FLAMMABLE GAS(不燃性气体) |
| Grsde(级别): |
5N |
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| Purity(纯度): |
99.999% |
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| 纯度 |
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| Impurity(非组分): |
Specification(标准） |
| Oxygen(氧): |
≤2.0 ppmv |
| Nitrogen(氮): |
≤5.0 ppmv |
| Carbon Dioxide(二氧化碳): |
≤0.5 ppmv |
| Carbon Monoxide(一氧化碳): |
≤0.5 ppmv |
| Other Organics(其他有机物)： |
≤0.1 ppmv |
| Water(水): |
≤1.5 ppmv |
| Acidity as HF(酸化物，如氟化氢)： |
≤1.0 ppmv |
| 包装 |
容积 |
重量 |
连接阀门 |
| 小钢瓶 |
44L 47L |
31Kg |
CGA580 CGA320 DISS716 QF-011 |
应用：以纯四氟甲烷或者和氧气混合的方式，用于在CVD过程之前，对二氧化硅、氮化硅、多晶硅和一些硅—金属化合物进行的等离子刻蚀。
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关键词：气体 〖返回〗 〖收藏〗 点击数：2290 |
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