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工业六氟化硫
日期：2012-06-08 |
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工业六氟化硫
商品详细介绍
A colorless,nonflammable,liquefied gas.(一种无色、不燃、液化气体)
Formula（分子式）:SF6
Molecular weight(分子量)：146.05
Boiling point(沸点):-50.8℃,-64.84°F;
Melting point(融点):-63.7℃,-82.66°F.
Vapor Pressure(蒸汽压):2200Kpa(21.1℃);320Psia(70°F)
Specific Volume(比容)：0.16m3/kg(21.1℃,101.325KPa)
2.15ft3/lb(70°F,14.696psia)
Threshold Limit ＆#118alue(人体的最高容许浓度)：1000ppm
UN Number(UN号码)：UN1080
DOT Classification(DOT类别)：2.2(Nonflammable Gas)(不燃气体)
DOT Label(DOT标签)：NON-FLAMMABLE GAS(不燃气体) |
| 工业六氟化硫纯度规格 N3.0 |
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| Purity(组分): |
Specification(标准） |
Result(结果) |
| SF6(六氟化硫)： |
≥99.9% |
＞99.9% |
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Oxygen(氧)+ Nitrogen(氮)+ Carbon Monoxide
(一氧化碳)： |
≤500ppm |
＜380ppm |
| Carbon Tetrafluoride(四氟化碳): |
≤500ppm |
＜350ppm |
| Water(水): |
≤8ppm |
＜4ppm |
| 毒性： |
生物实验无毒 |
生物实验无毒 |
| Impurity(非组分) |
Specification(标准) |
| Oxygen(氧)+ Nitrogen(氮)+ Carbon Monoxide(一氧化碳) |
≤5 ppmv |
| Carbon Dioxide(二氧化碳) |
≤1 ppmv |
| Carbon Tetrafluoride(四氟化碳) |
≤5 ppmv |
| Water(水) |
≤3 ppmv |
| Acidity as HF(酸性物,如氟化氢) |
≤0.1 ppmv |
| Cylinder Size(liter)钢瓶体积(升) |
Content(Kg,lbs)气含量(公斤,磅) |
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47 |
50,110 |
应用：等离子刻蚀
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关键词：气体 〖返回〗 〖收藏〗 点击数：2133 |
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