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八氟环丁烷
日期：2012-06-11 |
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八氟环丁烷
A colorless,nonflammable,liquefied gas.(一种无色、不燃、液化气体)
Formula（分子式）:C4F8
Molecular weight(分子量)：200.03
Boiling point(沸点):-5.8℃,-21.56°F;
Melting point(融点):-40.2℃,-40.36°F.
Vapor Pressure(蒸汽压):170Kpa(21.1℃);25Psia(70°F)
Specific Volume(比容)：0.12m3/kg(21.1℃,101.325KPa)
1.85ft3/lb(70°F,14.696psia)
UN Number(UN号码)：UN1976
DOT Classification(DOT类别)：2.2(Nonflammable Gas)(不燃气体)
DOT Label(DOT标签)：NON-FLAMMABLE GAS(不燃气体)
Cylinder Connection(钢瓶接口)：CGA/DISS/JIS--660/716/W22-14L
Grsde(级别)5N
Purity(纯度)99.999％
Guaranteed Specification(保证规格)
| Impurity(非组分) |
Specification(标准) |
| Oxygen(氧)+ Nitrogen(氮)+ Carbon Monoxide(一氧化碳) |
≤5 ppmv |
| Carbon Dioxide(二氧化碳) |
≤1 ppmv |
| Carbon Tetrafluoride(四氟化碳) |
≤5 ppmv |
| Water(水) |
≤3 ppmv |
| Acidity as HF(酸性物,如氟化氢) |
≤0.1 ppmv |
| Cylinder Size(liter)钢瓶体积(升) |
Content(Kg,lbs)气含量(公斤,磅) |
| 43.8 |
50,110 | |
应用：刻蚀气体/等离子刻蚀
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关键词：气体 〖返回〗 〖收藏〗 点击数：2244 |
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