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六氟乙烷
日期：2012-06-19 |
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六氟乙烷
| 商品详细介绍 |
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| A colorless，nonflammable，compressed gas.(一种无色不燃压缩气体) |
| Formula(分子式)： |
C2F6 |
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| Molecular weight(分子量): |
138.01g/mol |
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| Boiling point(沸点): |
-78.2℃ |
-108.76°F |
| Melting point(熔点)： |
-100.7℃ |
-149.27°F |
| Vapor pressure(蒸汽压): |
2965KPa（21.1℃） |
430Psia(70°F) |
| Specific volume(比容): |
0.174m3/kg(21.1℃,101.325KPa） |
| 2.8ft3/lb(70°F,14.696psia) |
| UN Number(UN号码)： |
UN2193 |
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| DOT Classification(DOT类别): |
2.2(Nonflammable Gas)(不燃性气体) |
| DOT Lable(DOT标签): |
NON-FLAMMABLE GAS(不燃性气体) |
| Grsde(级别): |
5N |
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| Purity(纯度): |
99.999% |
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| 纯度规格 |
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| Impurity(非组分): |
Specification(标准） |
| Oxygen(氧): |
≤2.0 ppmv |
| Nitrogen(氮): |
≤8.0 ppmv |
| Carbon Dioxide(二氧化碳): |
≤0.5 ppmv |
| Carbon Monoxide(一氧化碳): |
≤0.5 ppmv |
| Other Organics(其他有机物)： |
≤0.1 ppmv |
| Water(水): |
≤1.5 ppmv |
| Acidity as HF(酸化物，如氟化氢)： |
≤0.1 ppmv |
| 包装 |
容积 |
重量 |
连接阀门 |
| 小钢瓶 |
44L |
43Kg |
CGA660 DISS716 |
应用：刻蚀气体/等离子刻蚀
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关键词：气体 〖返回〗 〖收藏〗 点击数：1966 |
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