三氟化氮

 

 

商品详细介绍
A colorless,toxic,nonflammable,oxidizing,high pressure gas.  (一种无色、有毒、不燃、具有氧化性的高压气体)
Formula（分子式）：	NF3
Molecular weight(分子量):	71.02g/mol
Boiling point(沸点):	-73℃	-99.4°F
Melting point(熔点)：	-168℃	-270.4°F
Vapor pressure(蒸汽压):	9997KPa（21.1℃）	1450Psia(70°F)
Specific volume(比容):	0.34m3/kg(21.1℃,101.325KPa）
	5.4ft3/lb(70°F,14.696psia)
Threshold Limit ＆#118alue（人体的最高容许浓度）:	10ppm
UN Number(UN号码)：	UN2451
DOT Classification(DOT类别):	2.2(Nonflammable Gas)(不燃气体)
DOT Lable(DOT标签):	Non-flammable gas (不燃气体)
Grsde(级别):	4N
Purity(纯度):	99.99%

 

 

纯度规格
Impurity(非组分):	Specification(标准）
Oxygen(氧):	≤10.0  ppmv
Nitrogen(氮):	≤10.0 ppmv
Carbon Dioxide(二氧化碳):	≤10.0  ppmv
Carbon Tetrafluoride(四氟化碳)：	≤40.0　ppmv
Water(水):	≤1.0　ppmv
Acidity as HF(酸化物，如氟化氢)：	≤5.0　ppmv
Nitrous Oxide（氧化亚氮）	≤10.0　ppmv

 

 

包装	容积	重量	连接阀门
小钢瓶	44L	20Kg	CGA640

 应用：等离子刻蚀；硅、氮化硅、钨·硅化合物和钨薄膜的刻蚀；CVD炉室清洗

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