A colorless,toxic,nonflammable,corrosive liquefied gas.

 (一种无色、有毒、不燃、有腐蚀性液体气体)

 Formula（分子式）：

BCl3

 Molecular weight(分子量):

117.17g/mol

 Boiling point(沸点):

12.4℃

54.32°F

 Melting point(熔点)：

-107.3℃

-161.14°F

 Vapor pressure(蒸汽压):

30KPa（21.1℃）

4.2Psia(70°F)

 Specific volume(比容):

0.21m3/kg(21.1℃,101.325KPa） 

3.3ft3/lb(70°F,14.696psia)

 Threshold Limit ＆#118alue（人体的最高容许浓度）:

1ppm

 UN Number(UN号码)：

UN1741

 DOT Classification(DOT类别):

2.3(Poison Gas)(有毒)

 DOT Lable(DOT标签):

POISON GAS,CORROSIVE GAS
(有毒气体,腐蚀性气体)

 Grsde(级别):

5N

 Purity(纯度):

99.999%

 纯度

 Impurity(非组分):

Specification(标准）

 Oxygen(氧):

≤1.0  ppmv

 Nitrogen(氮):

≤4.0  ppmv

 Carbon Dioxide(二氧化碳):

≤2.0  ppmv

 Carbon Monoxide(一氧化碳):

≤0.5　ppmv

 Methane(甲烷):

≤0.5　ppmv

 Chlorine(氯气):

≤1.0　ppmv

 包装

容积

重量

连接阀门

 小钢瓶

44L 

50Kg

CGA660 DISS634

 应用：

 等离子刻蚀、在离子植入中用作硼源（N掺杂）